針對(duì)PSD的主要噪聲來(lái)源及特點(diǎn),提出了自適應(yīng)噪聲抑制的方法來(lái)提高PSD的位置分辨率。自適應(yīng)噪聲抑制屬于自適應(yīng)信號(hào)處理,不需要預(yù)先知道干擾噪聲的統(tǒng)計(jì)特性,能在逐次迭代的過(guò)程中將自身的工作狀態(tài)自適應(yīng)地調(diào)整到最佳。該方法需要兩塊位置敏感探測(cè)器PSD1和PSD2 PSD1需要接受入射光斑照射,而PSD2不需要光斑照射,專門(mén)用來(lái)檢測(cè)噪聲源。
PSD2的輸出經(jīng)過(guò)參數(shù)可調(diào)的數(shù)字濾波器后,再送到抵消器,與PSD1的輸出信號(hào)相減。插入濾波器的目的就是要補(bǔ)償兩片PSD的噪聲差異,以使濾波器的輸出盡量逼近PSD1感應(yīng)的噪聲。圖2中的數(shù)字濾波器為參數(shù)可調(diào)的濾波器,自適應(yīng)噪聲抵消的其他環(huán)節(jié)也都以數(shù)字方式實(shí)現(xiàn),所以圖2中各變量的時(shí)間自變量都以取樣序列號(hào)k來(lái)表示。