針對PSD的主要噪聲來源及特點,提出了自適應噪聲抑制的方法來提高PSD的位置分辨率。自適應噪聲抑制屬于自適應信號處理,不需要預先知道干擾噪聲的統(tǒng)計特性,能在逐次迭代的過程中將自身的工作狀態(tài)自適應地調整到最佳。該方法需要兩塊位置敏感探測器PSD1和PSD2 PSD1需要接受入射光斑照射,而PSD2不需要光斑照射,專門用來檢測噪聲源。自適應噪聲抑制的原理框圖如圖2所示。
PSD2的輸出經(jīng)過參數(shù)可調的數(shù)字濾波器后,再送到抵消器,與PSD1的輸出信號相減。插入濾波器的目的就是要補償兩片PSD的噪聲差異,以使濾波器的輸出盡量逼近PSD1感應的噪聲。圖2中的數(shù)字濾波器為參數(shù)可調的濾波器,自適應噪聲抵消的其他環(huán)節(jié)也都以數(shù)字方式實現(xiàn),所以圖2中各變量的時間自變量都以取樣序列號k來表示。