Keithley 6500、6430 系列高電阻低電流靜電計卓越的測量完整性，適用于各種功能 從三個敏感選項中選擇，實現(xiàn)精確的高阻抗和低電流測量。5? 位 6514 型和 6517B 型靜電計提供 1fA 靈敏度，輸入阻抗 200TΩ 的電壓測量，以及低至 10fC 的電荷測量。6位 6430 型亞 fA 遠程 SourceMeter SMU 儀器能夠以 1aA 的靈敏度測量電流。其噪聲低、偏差小，非常適用于研究單電子器件、高電阻納米線和納米管、聚合物以及電化學(xué)應(yīng)用。

　　Keithley 6500和6430系列是專為高精度低電流測量和高電阻測試設(shè)計的靜電計/源表，廣泛應(yīng)用于需要極高靈敏度的科研、半導(dǎo)體測試、材料分析等領(lǐng)域。以下是它們的核心用途及典型應(yīng)用場景：

　　一、核心功能與測量能力

　　極低電流測量

　　6430子飛安電流表：電流測量范圍低至 0.1fA(飛安，10⁻¹⁵A)，分辨率為 0.1aA(阿安，10⁻¹⁹A)，適用于納米級漏電流檢測。

　　6500系列(如6514/6517B)：支持 10fA至20mA 的寬電流范圍，兼顧高靈敏度與動態(tài)范圍。

　　高電阻測量

　　通過電壓-電流法(伏安法)，直接測量高達 10¹⁶Ω(10PΩ) 的絕緣材料電阻(如塑料、陶瓷、薄膜)。

　　高精度電壓源與測量

　　提供穩(wěn)定的電壓輸出(如±1000V)，并同步測量電流或電阻，支持四線制(Kelvin)測量以消除導(dǎo)線電阻影響。

　　電荷測量

　　用于電容器的電荷存儲分析或靜電放電(ESD)研究，如材料表面電荷積累測試。

　　二、典型應(yīng)用場景

　　1. 半導(dǎo)體與微電子

　　器件漏電流測試：

　　測量MOSFET柵極漏電流、二極管反向漏電、集成電路(IC)的靜態(tài)功耗。

　　晶圓級測試：

　　納米線、量子點、MEMS器件的電特性表征。

　　光電探測器分析：

　　暗電流、光電流靈敏度測試(如光電二極管、CMOS傳感器)。

　　2. 材料科學(xué)

　　絕緣材料評估：

　　高壓電纜絕緣層、PCB基材、封裝材料的電阻率測量。

　　納米材料電學(xué)特性：

　　石墨烯、碳納米管、二維材料的導(dǎo)電性分析。

　　介電材料研究：

　　薄膜電容器的介電損耗、極化特性測試。

　　3. 能源與傳感器

　　太陽能電池：

　　暗電流-電壓(I-V)曲線測試，評估轉(zhuǎn)換效率。

　　高阻傳感器：

　　電離輻射探測器、濕度傳感器的微弱信號檢測。

　　4. 科研與前沿技術(shù)

　　量子計算：

　　超導(dǎo)量子比特(Qubit)的極低溫環(huán)境電學(xué)測量。

　　生物電化學(xué)：

　　細胞膜離子通道電流記錄(需配合微電極)。

　　三、技術(shù)優(yōu)勢

　　低噪聲設(shè)計：

　　采用屏蔽電纜、Guard技術(shù)，減少環(huán)境干擾(如電磁噪聲、熱電勢)。

　　高輸入阻抗：

　　10¹⁶Ω輸入阻抗，避免測量電路對被測設(shè)備的分流影響。

　　靈活觸發(fā)與掃描：

　　支持自定義電壓/電流掃描，生成I-V、R-T曲線，適配自動化測試系統(tǒng)。

　　兼容性：

　　提供LabVIEW驅(qū)動、SCPI指令，無縫集成到ATE(自動化測試設(shè)備)或?qū)嶒炇移脚_。

　　四、Keithley 6500、6430 系列系列對比與選型建議：

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