合適的測(cè)量?jī)x器是測(cè)試系統(tǒng)能夠獲得精準(zhǔn)的測(cè)試結(jié)果的基礎(chǔ)，主要包括示波器、電壓探頭、電流探頭。我們可以看到一些測(cè)試系統(tǒng)在測(cè)量?jī)x器選擇上存在很大的問(wèn)題，例如：

　　● 使用基礎(chǔ)示波器測(cè)量高速M(fèi)OSFET、高速IGBT、SiC MOSFET，由于帶寬和采樣率嚴(yán)重不足導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果與實(shí)際值偏差較大;

　　● 使用ADC位數(shù)為8bit的示波器測(cè)量高電壓、大電流器件，由于分辨率低導(dǎo)致測(cè)量值精度差;

　　● 使用高差分探頭測(cè)量驅(qū)動(dòng)波形，導(dǎo)致波形噪聲大、震蕩嚴(yán)重;

　　● 使用羅氏線圈測(cè)量SiC MOSFET的端電流，由于帶寬嚴(yán)重不足導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果與實(shí)際值偏差較大。

　　泰克針對(duì)被測(cè)信號(hào)的特征，在功率器件動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)DPT1000A選擇使用了合適的測(cè)量?jī)x器，以提升測(cè)試結(jié)果的精度。示波器選用MSO5B系列，帶寬最高可達(dá)2GHz、記錄長(zhǎng)度高達(dá)500M并具備12位ADC，可滿足高速開關(guān)對(duì)帶寬的要求且具備較高的采樣率、更低的噪聲和更高的垂直分辨率。柵極波形測(cè)量選用無(wú)源探頭，帶寬可達(dá)1GHz、衰減倍數(shù)小并具備MMCX接口，可精準(zhǔn)測(cè)量下管的驅(qū)動(dòng)電壓，并降低了接地線的影響。

　　端電壓測(cè)量選用高壓差分探頭，在滿足寬電壓測(cè)量范圍的同時(shí)具有更大的輸入阻抗，提供了安全的測(cè)試保障。端電流測(cè)試選用shunt電阻，其帶寬達(dá)到1GHz以上，能夠滿足高速器件對(duì)帶寬的要求。

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